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MEMS压力传感器
MEMS压力传感器是一种基于微纳加工技术制造的微型化传感器，通过将机械结构与电子元件集成在硅基芯片上，实现对压力信号的精确感知与电信号转换。
产品详情
MEMS (微机电系统)是集微型机构、传感器、执行器及信号处理和控制电路于一体的微型器件或系统。
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原理: 硅压阻式和硅电容式 应用: 汽车电子、消费电子、工业电子、工业自动化、医疗健康 优势：体积小、功耗低、长期稳定性、可批量生产，并具备高灵敏度和可靠性 |
基本的MEMS工艺 |
MEMS压力传感器工艺能力
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产品性能指标参数 |
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产品压力范围（量程） |
1Mpa、2Mpa、7Mpa |
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精度要求 |
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重复性 |
<0.2%FS |
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非线性 |
<0.2%FS |
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迟滞 |
<0.1%FS |